等离子蚀刻四氟化碳气体有毒吗
由于四氟化碳在等离子表面处理设备中被电离后会产生含氢氟酸成分的蚀刻性气相等离子体,这些等离子体能够有效地对各种有机表面实现有机物去除及等离子蚀刻的作用,因此使用四氟甲烷蚀刻被广泛应用于太阳能电池板制造、线路板制造、晶圆制造等半导体电子行业。但是蚀刻过后的四氟化碳却对人体而言是有害的,那么等离子蚀刻四氟化碳气体有毒吗?一般而言,低浓度时,四氟甲烷是无毒的,但是当现场环境空气中积聚的四氟化碳浓度过高时,就会对人体健康造成危害,因此,需要在现场安装使用四氟甲烷蚀刻剂泄漏浓度报警器,以免发生危险。